通讯
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| 规格 | 模拟/数字 | |
| 流量范围 | 10SLPM（客户可指定任何一点量程标定10SCCM-10SLPM任意点指定） | |
| 精度 | 1% | ± 0.5 % Rd±0.1% FS |
| 重复性 | ± 0.15%F.S | |
| 响应时间 | 小于1S | |
| 压力范围 | 1Mpa,2Mpa,3Mpa,10Mpa | |
| 外漏率 | 1×10-9 SCCM(He) | |
| 供电电压 | ±15VDC; | |
| 电源 | 4 Watts Maximum | |
| 控制信号 | 0-5 VDC | |
| 数字信号 | RS-232/485,Profitbus,Devicenet | |
| 输出信号 | 0-5 VDC | |
